2022年12月22日有研硅，首届“创新浙商”名单揭晓。他们中，有砥砺前行开拓进取的“创业先锋”；有匠心打造行业龙头的“创新中坚”；有薪火传承创新筑梦的“后起之秀”；有留学回国振兴实业的“归航精锐”。创新浙江公众号陆续推出10位创新浙商人物专访，分享他们的精彩故事。
人物简介
曹建伟，男，1978年出生，中共党员，浙江大学机械电子工程专业博士，高级工程师，国家高层次人才特殊支持计划科技创新领军人才。 浙江晶盛机电股份有限公司党委书记、董事长。
曹建伟主导有研硅了10余项国家级、省部级项目，2项国家集成电路科技重大02专项课题，获得专利300余项，其中发明专利近50项。荣获浙江省科学技术奖一等奖2项，二等奖2项，三等奖1项，入选151人才工程第二层次人才、杭州市高层次人才、浙江省优秀科技工作者，“第十五届中国上市公司十大创业领袖人物”“第二十届浙江省优秀企业家” “2021年度风云浙商”等荣誉称号。
从初创时20余名员工、租赁厂房与设备起家，到2022年三季度末总资产达到256亿元，市值破1000亿元；从山村小公司起步，到如今超越国内同行，与国际领先技术接轨的高端设备供应商与服务商；浙江晶盛机电股份有限公司5年实现上市，16年持续稳健增长，保持细分行业技术与高端市场双领先地位。“一路走来，有研硅我们始终坚定‘打造半导体材料装备领先企业，发展绿色智能高科技制造产业’初心，不断实施技术创新，让企业一直保持着旺盛的生命力。”曹建伟带领团队把“求是创新，艰苦奋斗”融入晶盛机电发展基因，带领晶盛爬坡闯关，谱写了高端装备国产化的绚丽篇章。
立足高起点
打破国外长期技术垄断
位于绍兴市上虞区汤浦镇的一幢白色三层小厂房，是晶盛机电的起点，亦是曹建伟从浙大博士毕业之后开启的又一个人生奋斗的新起点。2006年，曹建伟与创业团队近10人的课题组（后来成为晶盛机电的核心团队）租下了厂房与设备，除去购置计算机与刀量具，手中仅留十余万元。尽管如此，他们的目标却不低有研硅：打破国外垄断，实现全自动控制单晶硅生长炉的国产化。
单晶硅材料被广泛应用于半导体领域，作为一种重要基础材料，在现代电子信息技术中的占比高达95%。直拉式单晶硅生长炉是硅单晶制备领域重要而高效的设备。曹建伟带领团队在调研国内外技术的基础上，结合半导体硅单晶生长工艺，以研发单晶炉全自动控制系统为突破口，进行单晶炉整机研制。在有研硅股等国内半导体企业的大力支持下，创新攻关，终于在2007年4月，这间山村小工厂诞生了国内首台自主研制的全自动80A型单晶硅生长炉，一举打破了高端单晶炉技术长期被国外垄断的产业格局，填补了国内空白。
持续创新
勇为业界技术领跑者
“科研是我们的强项，也是我们唯一的出路。”曹建伟——这位浙大机械电子工程专业出身的博士，始终坚持亲手抓研发。他带领团队一直秉承着1至2年研发新一代设备的频率，始终牢牢掌握着核心竞争力，在行业内创造了令人瞩目的“晶盛速度”。
在首台80A型全自动单晶炉实现多项首创技术之后，曹建伟与团队又接连成功研制国内首台130A大型单晶炉和100B重掺型半导体级单晶炉。其生长的硅单晶棒领先于国内同行，达到国际同类产品的先进水平。
“技术领先，规模投产。”这是曹建伟对研发的一贯要求。他带领团队经过对“大尺寸半导体级硅单晶生长设备的关键技术”的攻关，研发出了超导磁场匹配技术、CCD视频技术等多项创新技术，实现了智能化全自动单晶硅生长技术的重大突破，第四代单晶炉技术国际领先。
2009年和2011年，曹建伟团队承接了两项国家科技重大专项半导体装备课题，“300mm单晶硅直拉生长设备的开发”和“8英寸区熔单晶硅炉国产设备研制”课题先后落户公司，团队毅然挑起重任，不仅顺利通过专家组验收，还相继研发成功油冷却CUSP磁场、水冷夹套技术，高精密单晶双夹持装置、连续引晶技术等多项国内外首创技术。
如今科技创新已经在晶盛机电结出累累硕果，形成了以全自动单晶硅生长炉、区熔硅单晶炉、多晶硅铸锭炉、蓝宝石炉、碳化硅炉、金刚石炉为主体，半导体设备、光伏设备、半导体化合物衬底材料全面开花的格局。
科研为先
广纳人才培育“最强大脑”
曹建伟常说，创新团队是引领企业稳健发展的原动力，年轻人才是公司的未来。
他以身作则，带领团队践行核心价值观，锻造了一支“扛得起，挺得住，能吃苦，善打硬仗”的骨干队伍，形成了“胜则举杯相庆，败则拼死相救”“艰苦实干，团结奉献”的团队精神。公司还出台了专利申报、研发项目完成、技术革新及合理化建议等多项奖励制度，并采用关心、表扬、奖励、升职、出国研修等“五结合”的政策，鼓励员工技术和管理创新。公司对技术、业务骨干、中层管理等核心员工实施限制性股票激励计划，持续改善厂区工作与生活环境，不断提升员工的归属感与凝聚力。
如今在晶盛研发人员就有1000余人，研发人员数量占比超22%，90%毕业重点高校。他们分布在4个国内外研发中心、工业4.0方向的省级重点研究院、省级晶体装备研究院、国家级博士后工作站等研究平台。近几年，公司研发经费占营业收入比例保持在5%至8%之间，2022年前三季度研发经费达到5.10亿元，同比增长106.64%。
“晶盛从科研起家，也必须靠科研发展壮大，这条路子不会变有研硅！”曹建伟坚定地说。截至2022年6月30日，晶盛机电及下属子公司共有有效专利560项，其中发明专利71项，荣获浙江省科学技术奖一等奖2项，全自动单晶硅生长炉被评为第三批国家制造业单项冠军产品，公司获得浙江省科技领军企业、浙江省创新企业百强、2021福布斯中国创新企业50强等荣誉。
突破技术瓶颈
引领半导体产业发展
2022年8月，晶盛机电首颗8英寸N型SiC晶体成功出炉，晶盛第三代半导体材料SiC研发迈入8英寸时代，这是晶盛在宽禁带半导体领域取得的又一标志性成果。
半导体产业链上游支撑产业为半导体材料和设备，集成电路行业是国民经济和社会发展的战略性、基础性、先导性产业。晶盛机电持续攻关，在光伏设备领域，实现产品技术、规模双领先；在硅材料半导体设备领域，半导体8-12英寸大硅片设备，公司产品在晶体生长、切片、抛光、外延等环节已实现8英寸设备全覆盖，12英寸长晶、切片、研磨、抛光等设备全部国产化，产品质量达到国际先进水平；在先进制程及功率器件半导体装备领域，解决“卡脖子”难题，实现进口替代；在蓝宝石、碳化硅材料领域，保持700公斤级蓝宝石全球纪录及8英寸碳化硅全国纪录。同时，公司在碳化硅晶体生长、切片、抛光环节规划建立测试线，以实现装备和工艺技术的领先，拓展在第三代半导体设备领域的市场布局。
晶盛机电以半导体高端装备为核心，实现产业链横向拓展、纵向延伸，掌握了晶体“生长、切片、抛光、CVD”四大半导体设备核心技术，推动半导体关键装备国产化，为我国集成电路用大直径硅片生产与制造的战略安全提供有力支撑，助推集成电路产业跨越式发展，为科技兴国、实业强国添砖加瓦。
来源：省科技宣传教育中心
撰稿：张巧琴
编辑： 梁梓
